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对半导体制造装置发热部的冷却：单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。对激光装置发热部分的冷却：激光加工、熔接机的发热部分、激光标志装

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单压缩机系统，部件少，故障率低，能耗小。精确控温：采用意大利CAREL高精度电脑温控系统，，温度显示精度0.1℃，分辨率0.1℃，调整增量0.1℃。 特有的高分辨率温度较准功能，设定点可以调整校对，校对0.1℃增量。可设定开停机温差。&#615

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